高强度紫外线灯应用于半导体企业的微粒检查

高强度紫外线灯LUYOR-3410检测原理

近日，浙江康鹏半导体有限公司采购了LUYOR-3410系列高强度紫外线灯用于晶圆表面微粒检测。晶棒在切割、清洗以及无尘室的particle等都会对晶圆表面造成污染，而这些particle在LUYOR-3410高强度紫外线灯照射下会发出荧光，检查者会很容易发现污点，会大幅度提高晶圆的良品率。

高强度紫外线灯LUYOR-3410配有不锈钢可调节支架，即可用于便携式操作，检查机台表面落尘，也可做为台式紫外线灯检查晶圆表面质量。

高强度紫外线灯LUYOR-3410在半导体行业的典型客户：

1. 浙江康鹏半导体有限公司

2. 中科芯集成电路有限公司

3. 广州市中芯电子科技有限公司

4. 台积电(上海)有限公司

晶圆盒洁净度直接影响着晶圆的良品率，和晶圆企业配套的晶圆盒的生产企业相继也有多家采购了LUYOR-3410高强度紫外线灯。

半导体洁净室管理办法如下：

1、内部要保持大于一大气压的环境，以确保粉尘只出不进。所以需要大型鼓风机，将经滤网的空气源源不绝地打入洁净室中。
2、为保持温度与湿度的恒定，大型空调设备须搭配于前述之鼓风加压系统中。换言之，鼓风机加压多久，冷气空调也开多久。
3、所有气流方向均由上往下为主，尽量减少突兀之室内空间设计或机台摆放调配，使粉尘在洁净室内回旋停滞的机会与时间减至更低程度。
4、所有建材均以不易产生静电吸附的材质为主。
5、所有人事物进出，都必须经过空气吹浴 (air shower) 的程序，将表面粉尘先行去除。
6、人体及衣物的毛屑是一项主要粉尘来源，为此务必严格要求进出使用人员穿戴无尘衣，除了眼睛部位外，均需与外界隔绝接触 (在次微米制程技术的工厂内，工作人员几乎穿戴得像航天员一样。) 当然，化妆是在禁绝之内，铅笔等也禁止使用。
7、除了空气外，水的使用也只能限用去离子水 (DI water, de-ionized water)。一则防止水中粉粒污染晶圆，二则防止水中重金属离子，如钾、钠离子污染金氧半 (MOS) 晶体管结构之带电载子信道 (carrier channel)，影响半导体组件的工作特性。去离子水以电阻率 (resistively) 来定义好坏，一般要求至17.5MΩ-cm以上才算合格；为此需动用多重离子交换树脂、RO逆渗透、与UV紫外线杀菌等重重关卡，才能放行使用。由于去离子水是更佳的溶剂与清洁剂，其在半导体工业之使用量极为惊人！
8、洁净室所有用得到的气源，包括吹干晶圆及机台空压所需要的，都得使用氮气 (98%)，吹干晶圆的氮气甚至要求99.8%以上的高纯氮！ 以上八点说明是最基本的要求，另还有污水处理、废气排放的环保问题，再需要大笔的建造与维护费用!

高强度紫外线灯LUYOR-3410如何购买？

高强度紫外线灯LUYOR-3410是美国路阳公司生产，上海路阳仪器有限公司负责中国地区销售和售后服务。如果您对高强度紫外线灯的应用有兴趣，可以添加扫描下面的微信二维码添加微信咨询：